日立HITACHI離子濺射儀抽不上真空故障原因檢查維修方法
一，離子濺射儀抽不上真空的故障
1.首先檢查真空泵排除基本可控情況，聽(tīng)真空泵的聲音是否異常，如無(wú)異常檢查真空泵引線(xiàn)和電磁閥引線(xiàn)的插頭處是否連接正常，插頭里的排針有誤脫落或者接觸不良。檢查真空泵的與真空管道的連接，管道應(yīng)于真空泵的進(jìn)氣口連接，不要誤接到排氣口。
2.檢查上蓋和玻璃鐘罩是否放端正，玻璃鐘罩和下底盤(pán)的邊緣基本平齊，上蓋和鐘罩不能有錯(cuò)位。真空管道與儀器接口處的卡箍或者喉箍是否卡緊。開(kāi)機(jī)，如果真空表還是沒(méi)有走動(dòng)，請(qǐng)立即關(guān)機(jī)。繼續(xù)做排除工作。
3.用kF16的盲堵配合KF16的橡膠圈（沒(méi)有可用橡皮塞代替），將儀器下底盤(pán)的真空排氣口堵住，開(kāi)機(jī)，觀(guān)察真空表是否走動(dòng)。
二、真空表打表
1.真空表向左或者向右打表，可以拆開(kāi)前面板，找到一個(gè)白色8芯插座，看插座是否接觸不良。如果仍然打表，可將真空規(guī)管的黑色插頭拔掉，看是否打表。
三，真空忽高忽低
1.將真空室里的樣品取出，并清理真空室，空機(jī)試一次。
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